微米級熱像儀 - 顯微式熱影像儀

ThermalView X MCR 顯微式熱影像儀系列包括微面積測量所需的硬體和軟體功能、校正和校準。 在安裝具有足夠靈敏度的探測器以捕獲小區域和足以進行解析度的光學系統後，將執行校正和專用校準以解決小區域特有的誤差。 此外，GUI上還有一個專用功能，以便使用者可以根據情況進行更正。 ThermalView X MCR 顯微式熱像儀系列是面向先進半導體和新產品（如晶圓圖案、材料結構、微熱源、發光器件、微封裝膠以及微元件和材料）製造商的最新顯微鏡熱成像儀器。
微米級解析度可分辨 7.5微米(非製冷型)，2微米(製冷型)。